HENGKO kõrge puhtusastmega poorse metallkambriga difuusorid kivi kõrge puhtusastmega gaasi filtreerimiseks pooljuhtideni
HENGKO poorsed metallist difuusorid õhutavad vaakumkambrid kiiresti atmosfääri, mis vähendab tsükliaega ja suurendab läbilaskevõimet.Meie roostevabast terasest difuusorid tagavad ühtlase ja laminaarse gaasivoolu, ilma et kambris oleks osakesi.Need poorsest metallist difuusorid eemaldavad sissetulevast gaasist ka suuremad kui 0,1 µm osakesed, minimeerides vahvli defekte.
Roostevabast terasest difuusorid taluvad kõrgemat töörõhku ja säilitavad toote terviklikkuse – see on tööstuse pikim eluiga.Ja niklist parema korrosioonikindluse tagamiseks kasutage HENGKO kõrge puhtusastmega difuusoreid.
Rakendused
HENGKO poorsest metallist difuusoreid kasutatakse õhutusrakendustes koormuslukukambrites, ülekandekambrites, jahutuskambrites ja pooljuhtseadmete liideste (CVD, PVD, Etch, Epi) või muude vaakumkambrite protsessikambrites.
Kas te ei leia teie vajadustele vastavat toodet?Selleks võtke ühendust meie müügipersonaligaOEM/ODM-i kohandamisteenused!