Temperatuuri- ja niiskusandur pooljuhtide puhta ruumi temperatuuri niiskuse reguleerimise skeemile
Tootenäitus
TemperatuurjaPuhta ruumi niiskus määratakse peamiselt protsessi nõuete järgi, kuid protsessinõuete täitmisel tuleks arvestada mugavustundega.Õhu puhtusnõuete paranemisega on ilmnenud suund, et temperatuuri ja niiskuse nõuded on järjest rangemad.
Kuna töötlemise täpsus on üha peenem, on temperatuuri kõikumise vahemik üha väiksem.Näiteks suuremahulise integraallülituse tootmise litograafilises eksponeerimisprotsessis peab klaasi ja ränivahvli kui maski materjali soojuspaisumisteguri erinevus olema üha väiksem.Ränivahvli läbimõõt 100 um, temperatuuri tõus 1 kraad, põhjustab 0,24 um lineaarset paisumist, seega peab temperatuur olema ±0,1 kraadi, samal ajal on niiskuse väärtus üldiselt madal, kuna inimesed higistavad, toode on saastunud, eriti kardan naatriumi pooljuhtide töökoda, see töökoda ei tohiks ületada 25 kraadi.
Kõrge õhuniiskus põhjustab rohkem probleeme.Kui suhteline õhuniiskus ületab 55%, tekib jahutusveetoru seinale kaste, mis täppisseadmetes või vooluringides võib põhjustada erinevaid õnnetusi.Kui suhteline õhuniiskus on 50%, on see kergesti roostetav.Liiga kõrge õhuniiskuse korral adsorbeerub ränikiibi pinnale kleepunud tolm pinnale keemiliselt, et vältida eemaldamist.Mida kõrgem on suhteline õhuniiskus, seda on adhesiooni raske eemaldada, kuid kui suhteline õhuniiskus on alla 30%, on osakesed kergesti pinnale adsorbeeruvad elektrostaatilise jõu toimel ja suur hulk pooljuhtseadmeid altid lagunemisele.Optimaalne temperatuurivahemik vahvlite tootmiseks on 35-45%.
Seetõttu on temperatuuri ja niiskuse kontroll eriti oluline, HENGKO võib teile pakkuda mitmeidtemperatuuri ja niiskuse saatja kohandatud töötlemislahendused!
Temperatuuri- ja niiskusandur pooljuhtide puhta ruumi temperatuuri niiskuse reguleerimise skeemile
Kas te ei leia oma vajadustele vastavat toodet?Selleks võtke ühendust meie müügipersonaligaOEM/ODM-i kohandamisteenused! 
