Täiustatud IGS pinnale paigaldatavad C-tihendiga filtrid ülipuhaste pooljuhtgaaside süsteemidele

Lühike kirjeldus:

Bränd:HENGKO

Filtri nimi:IGS pinnale paigaldatav C-tihendiga filter

Materjal:SS 316L

Voolukiirus:10 ~ 120 SLPM

Maksimaalne töötemperatuur:460°C

Osakeste eemaldamise suurus:> 0,003 μm

Saada meile e-kiri Tagasi alamkategooriate juurde

Toote üksikasjad

Tootesildid

Kirjeldus

HENGKO pinnale paigaldatavad filtrid on loodud vastama pooljuhtide OEM-tööriistades kasutatavate integreeritud gaasisüsteemide nõudlikele nõuetele. Pakkudes tööstusharu juhtivat filtreerimist 0,003 µm juures, tagavad need filtrid erakordse jõudluse ja töökindluse osakeste kinnipidamise efektiivsusega ≥99,9999999% (9-LRV) kiirusel 120 slpm.

Need filtrid on valmistatud vastupidavast 316L roostevabast terasest pulberpaagutusmeetodil, mis on mõeldud filtrielemendi ja korpuse jaoks. Need vastavad SEMI F86-0304 spetsifikatsioonidele ning neil on kahepordilised komponendid, mis on kohandatud 1,125-tollistele C-tihendiga gaasijaotussüsteemidele. Need toetavad maksimaalset sisselaskerõhu 3,4 MPa temperatuuril 100 °C ja maksimaalset töörõhu erinevust 0,69 MPa temperatuuril 100 °C.

Need spetsiaalsed filtrid, mis ühilduvad nii C- kui ka W-tüüpi tihendite spetsifikatsioonidega, saavutavad allavoolu puhtuse osakeste eraldamisega

Ra pinnaviimistlusega< 1,6 µm välisküljel ja RaSisemisel küljel on paksus < 0,13 µm ja need on loodud taluma kuni 460 °C kõrgeid temperatuure. Need filtrid on konstrueeritud lihtsaks integreerimiseks ja moodulkonstruktsiooni täiustamiseks, lihtsustades paigaldamist ja hooldust, aidates optimeerida süsteemi jõudlust pooljuhtgaaside tarnimise ja juhtimise rakendustes.

Toote omadus

▶ Üldine konstruktsioon 316L roostevabast terasest
▶ Miniatuurne disain, kompaktne struktuur, ruumisäästlik
▶ Suurepärased gaasiasendus- ja desorptsiooniomadused
▶ Kõrge temperatuuri, kõrge rõhu ja korrosioonikindel
▶ Elektropoleeritud 316L roostevabast terasest korpus
▶ Lihtne ja tõhus paigaldus ja hooldus
▶ Mehaaniline tihend, struktuurilt keskkonnaga keevitamata

Suure jõudlusega IGS pinnale paigaldatavad C-tihendiga filtrid pooljuhtide gaasitarnesüsteemidele

Andmeleht

Tehnilised parameetrid	Väärtused
Filtrielemendi materjal	316L roostevabast terasest paagutatud pulber
Korpuse materjal	316L roostevaba teras
Maksimaalne sisselaskerõhk	3,4 MPa temperatuuril 100 °C
Maksimaalne töödiferentsiaal	0,69 MPa temperatuuril 100 °C
Heeliumi kontrollimise lekke määr	1x10⁻¹¹ cm³/min
Heeliumi testi lekke määr	1x10⁻⁹ cm³/min
Pinnatöötlus	Välispind Ra< 1,6 μm
	Sisepind Ra<0,13 μm
Maksimaalne töötemperatuur	460°C
Osakeste pealtkuulamise efektiivsus	≥99,9999999% (9-LRV) @ 120 slpm (võrdlus-MPPS, kõik osakesed)
Allavoolu puhtus	Osakeste eraldumine:< 0,03 osakest liitri kohta (< 1 osake/ft³)
	Lenduvad ained:< 10 ppb niiskus
Osakeste pealtkuulamise suurus	≥0,003 μm
Vooluvahemik	0 ~ 120 lööki minutis

Suurus

Pindpaigaldusfiltrite suurus

Siin on tellitava osa number ja suuruse üksikasjad:

Toote mudel	Voolukiirus	Kõrgus H (mm)	Filtreerimise täpsus	Puhastustase
Z01B-00637	10 minutit minutis	51,6	0,003 μm	C
Z01B-00638	40 lööki minutis	82,9	0,003 μm	C
Z01B-00687	80 lööki minutis	126,2	0,003 μm	C
Z01B-00688	120 l/min	167,9	0,003 μm	C