Ülipuhas filtreerimine ülipuhta pooljuhtide tootmiseks
Kirjeldus
Suure vooluhulgaga gaasifilter – spetsiaalselt loodud ülikõrge puhtusastmega protsessigaasi filtreerimiseks pooljuhtide tootmises. See on täppiskonstruktsiooniga 316L roostevabast terasest ning sellel on mitme kolonni või virnastatud kettaseadme disain, mis tagab väikese takistuse suurel voolukiirusel, filtreerimistäpsusega 0,003 μm, et täita ülikõrge puhtusastme nõudeid. Täismetallist konstruktsioon muudab selle ideaalseks filtreerimislahenduseks kõrge temperatuuriga dünaamilistes keskkondades.
Toote omadus
▶Kõik 316L roostevabast terasest konstruktsioonid— Tagab vastupidavuse ja korrosioonikindluse.
▶Suur voolukiirus, madal takistus— Optimeeritud suure vooluhulga ja minimaalse rõhukao jaoks.
▶Ülikõrge osakeste kinnipidamise efektiivsus— Suurepärane ülipuhaste tingimuste säilitamiseks.
▶Vastupidav kõrgetele temperatuuridele, rõhule ja korrosioonile— Sobib karmidesse keskkondadesse.
▶Ühildub erinevate protsessigaasidega— Mitmekülgne mitmesuguste tööstuslike rakenduste jaoks.
▶Ideaalne puhasruumide tootmiseks, testimiseks ja pakendamiseks— Ideaalne kasutamiseks kontrollitud keskkondades.
▶100% terviklikkuse testimine— Iga filter läbib kvaliteedi tagamiseks põhjaliku terviklikkuse testimise.
▶100% heeliumi lekke testimine— Kriitilistes rakendustes töökindluse tagamiseks kontrollitud heeliumi lekkekatse abil.
Andmeleht
Tehnilised parameetrid
| Parameeter | Spetsifikatsioon |
|---|---|
| Filtrielemendi materjal | 316L roostevabast terasest pulberpaagutatud |
| Korpuse materjal | 316L roostevaba teras |
| Maksimaalne sisselaskerõhk | 207 baari |
| Maksimaalne töörõhkude erinevus | 5,2 baari |
| Heeliumi valideerimise lekke määr | 2 x 10⁻¹⁰ cm³/min |
| Heeliumi testimise lekkekiirus | 1 x 10⁻¹⁰ cm³/min |
| Pinnatöötlus | |
| Väline pind | Ra < 1,6 μm |
| Sisemine pind | Ra <0,2 μm |
| Maksimaalne töötemperatuur | |
| Inertgaas | 400–500 ℃ |
| Söövitav ja reaktiivne gaas | 50 ℃ |
| Osakeste kinnipidamise efektiivsus | ≥99,9999999% (9LRV) @ 30 slpm |
| Allavoolu puhtus | ≤0,03 osakest liitri kohta @ > 0,01 μm, 30 slpm |
| Osakeste peetussuurus | ≥0,003 μm |
Suurus
Siin on tellitava osa number ja suuruse üksikasjad:
| Toote mudel | Filtrielemendi materjal | Filtreerimise täpsus (μm) | Ühenduse tüüp |
|---|---|---|---|
| Z01B-00647 | 316L roostevaba teras | 10~0,003 | 1/4” |
| Z01B-00648 | 316L roostevaba teras | 10~0,003 | 1/2” |
| Z01B-00649 | 316L roostevaba teras | 10~0,003 | 1/8” |
| Z01B-00650 | 316L roostevaba teras | 10~0,003 | 1” |
| Kohandatav | 316L roostevaba teras | 10~0,003 | Vajadusel |
Tüüpilised rakendused
mõned tüüpilised rakendusedKõrge puhtusastmega lahtised ja tarbekaubafiltridjaGaasivoolu filtrid gaasipadjal:
1. Pooljuhtide tootmine
*Tagab ülipuhta gaasivarustuse kiipide valmistamiseks, söövitamiseks ja keemilise aurustamise (CVD) protsessideks.
* Säilitab lämmastiku, argooni ja muude kandegaaside lahtiste gaasijaotussüsteemides kõrge puhtusastme.
2. Ravimite tootmine
* Pakub steriilset ja osakestevaba gaasi kriitiliste tootmiskeskkondade jaoks.
*Toetab puhasruumides ja kontrollitud keskkondades kõrge puhtusastmega filtreerimist, et säilitada toote terviklikkus.
3.Laboratoorsed gaasisüsteemid
*Kasutatakse laboritingimustes gaasivoogude puhastamiseks analüütilistes seadmetes, näiteks gaasikromatograafias ja massispektromeetrias.
*Tagab uurimis- ja testimisrakenduste jaoks kõrge puhtusastmega gaasid, kaitstes tundlikke instrumente.
4. Toidu- ja joogitöötlemine
*Filtreerib CO₂ ja muid gaase, mida kasutatakse gaseerimisel, pakendamisel ja ladustamisel, säilitades toiduohutuse ja kvaliteedi.
*Tagab saastevaba gaasivarustuse töötlemistehastes, eriti gaasimahutite puhul.
5. Nafta- ja gaasitööstus
*Puhastab gaasipadja filtreerimisel maagaasivooge, eemaldades saasteained enne ladustamist või transporti.
* Kaitseb allavoolu seadmeid, eemaldades kõrgsurve gaasivoolusüsteemidest osakesi, niiskust ja lisandeid.
6. Keemiatööstus
*Filtreerib keemilises sünteesis ja reaktsioonides kasutatavaid gaase nagu lämmastik ja argoon.
* Säilitab gaasi puhtuse, et vältida saastumist ja reaktsioonide ebajärjekindlust.
7. Lennundus ja kaitsetööstus
* Tarnib lennundus- ja kosmosematerjalide ning -komponentide tootmis- ja testimiskeskkondadesse kõrge puhtusastmega gaase.
*Tagab ühtlase gaasipuhtuse kontrollitud keskkonnas lennukite ja kaitsevarustuse kokkupanekul.
8. Energia tootmine (elektrijaamad)
*Filtreerib kõrgsurvegaase jahutus- ja protsessirakendustes, eriti kõrge temperatuuriga keskkondades.
* Suurendab tõhusust ja vähendab seadmete kulumist, vältides gaasijahutus- ja voolusüsteemide saastumist.
Need fFiltrid on olulised igas rakenduses, mis vajab puhast ja ühtlast gaasivoolu, parandades seadmete kaitset,
protsesside efektiivsus ja lõpptoote kvaliteet erinevates tööstusharudes.
Saada meile oma sõnum:
